P600MRロールツーロールコーターは、ポリマーフィルムに均一な片面コーティングを行うことを目的としています。このコーターは、タッチパネル、LCD、太陽電池、太陽電池制御材料用の単層および多層スタックの成膜を保証し、お客様の要件に合わせて簡単に更新することができます。また、FPCB用の厚い導電性金属層の成膜にも使用できます。
エンジニアリングとテクノロジー
片面コーティングは、それぞれにプロセスドラムを備えた3つの隔離されたコンパートメントで成膜される。プロセスドラムの加熱/冷却システムにより、コーターの機能性を大幅に向上させることができます。
独立したポンプを備えたマルチコンパートメント・チャンバー設計により、隣接するスパッタゾーン間に必要な圧力差が得られます。垂直に基板を供給することで、パーティクルのない成膜面を実現します。
SIDRABEはフィルム表面の前処理に特別な注意を払っています:まず、フィルムは真空乾燥機C2P670で乾燥され、その後コーターでプラズマ処理が行われます。
必要なプロセスに応じて、デュアルまたはシングルマグネトロン、円筒型または平面型、DC、パルスDCまたはAC電源など、さまざまなマグネトロンの組み合わせを提供します。ターゲット材料は金属またはセラミックです。
各成膜ゾーン後のコーティング透過率および反射パラメーターのインラインモニタリングにより、各成膜層の特性の精度を保証します。
シート抵抗のインラインモニタリングは、2つのコンタクトローラー上の4プローブ法で実現されます。
マルチチャンネルプラズマ発光分光光度計とマルチセクションガス供給マニホールドは、蒸着プロセス制御とコーティングの均一性を保証します。
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