ロールツーロールタイプ塗工機

PECVD生産規模コータ 太陽光吸収多層生産のための金属箔上の非晶質水素化シリコンのp-i-nタンデムスタックのプラズマ増強CVD. エンジニアリングおよび技術 PECVDコーティングシステムは、最大1340mm幅の金属箔の片面真空コーティング用に設計されたロールツーロールタイプの生産プラントです。 蒸着ゾーンは、気密容積内の1つまたは複数のRF電極で構成され、上方蒸着用に構成されています。 堆積ゾーンの特定の構成は、相互汚染を防止します。 基板は、コーティング堆積前に予熱され、堆積プロセス中に加熱され、コーティング後に冷却される。 ホイルの温度勾配は4oC/cmを超えない。 電気機器の温度、湾曲したプレートおよび基板は、熱電対およびIRセンサーで監視されます。 基板は、加熱された湾曲したプレートによって機械的に支持される。 湾曲したプレートは、10メートルの曲率半径を有するいくつかのセグメントからなる。 不可逆的な巻線システムは、傷やしわのない最適な張力とホイルハンドリングを保証します。 ポンプシステムは、機械式ブースターと乾式荒削りポンプで構成されています。 RFゾーンには独立したスロットルポンプラインがあり、各ゾーンでガスの流れと圧力を個別に変化させます。 2レベルのサービスプラットフォーム、可動チャンバドアおよびRF電極は、メンテナンスのシンプルさを保証します。 制御システムは、制御ソフトウェアを容易に拡張するためのモジュラー概念を適用します。 データシート 基板：金属箔 基板幅：1340mmまで 基板厚さ：50〜100µm 最大ロール直径：820mmまで コーティング：a-Siの：H 巻線速度：0.05〜0.5m/分