マグネトロン スパッタリング式貯蔵マシン SAF25/50

多機能R&Dクラスター・ツール SAF アプリケーション 多機能R&DクラスターツールSAF25/50は、薄膜技術分野における研究開発、フィージビリティ・スタディ、一般的な学術研究を対象としています。 エンジニアリングとテクノロジー このツールは、多機能、拡張可能、モジュール式、フレキシブルなシステムです。イオン銃付き入出力チャンバー、ラジアル伸縮式搬送アーム付き中央基板搬送チャンバー、最大7つの蒸着チャンバーから構成されています。基板はホルダー上に水平に配置される。蒸着ゾーンは、上向き蒸着中に基板が回転または変位するように構成されています。 ツールの多機能性と柔軟性は、以下の主な特徴に基づいています： - 各チャンバーは、個別のポンピング手段、制御、ユーティリティ接続により、独立して動作可能。 - 蒸着チャンバーと蒸着ソースは交換可能。 - 中央の搬送チャンバーは、プロセスのクロスコンタミネーションを防止し、チャンバーのベントなしで基板搬送を確実にします。 - 昇華型サーマルセル、抵抗ボート、るつぼ、スパッタマグネトロンを含む様々なタイプの蒸着ソースを統合することができます。 - ツイン、シングル、デュアルのスパッタマグネトロンは、DC、パルスDC、MF、RF電源で駆動可能です。 - 基板の冷却と加熱は、接触式と非接触式があります。 - 不活性ガス雰囲気での基板ローディング用グローブボックスと基板マガジンを追加可能。 - チャンバーには、事前に取り決めた数のブランクオフ・フランジが取り付けられており、カスタマイズした装置や技術アクセサリーを取り付けることができます。