抵抗性測定システム SRMR-3

リアルタイム電子メタルシート

シート抵抗測定ローラー シート抵抗測定ローラーSRMR-3は、ポリマーフィルムの連続工程におけるシート抵抗値を5～1000Ω/□の範囲でその場で接触測定する装置です。本装置は真空および大気環境で使用できます。 SRMR-3は、幅広い導電性コーティングのシート抵抗の自動制御に使用できます。測定は連続的に行われ、プロセスは制御システムのディスプレイに表示されます。 SRMR-3は、接触銅リング付きの誘電体ローラーです。測定は、近接するマグネトロンとの干渉を避けるため、AC信号を使用して銅リングと基板間の3つの接触点で行われます。測定ゾーンのレイアウトはお客様のご要望に応じて変更可能です。 銅リングへの接続は、フランジに取り付けられた電気的真空フィードスルーによって確保されます。USB/ADCポートを介して制御コンピュータに接続された電子制御ユニットにより、正確でリアルタイムの測定表示が可能です。電子ユニットのアナログ出力は、USB/ADCポートからPCおよびADC/PLCチャンネルに切り替えることができます。