インラインスパッタリング式貯蔵マシン G600MN

インラインスパッタリング装置G600MNは、装飾用、耐摩耗性向上用、電磁波シールド用などの3D各種成形品のコーティングを目的とした高出力装置です。 本装置は120時間連続運転が可能です（コーティングされた3D物品のキャリア出力速度は15秒）。 エンジニアリングとテクノロジー インラインシステムは、連続シングルパスモードで動作するモジュール式シングルエンド構造として設計されている。 キャリアローディング・アンローディングチャンバー、ロッキングチャンバー、グロー放電チャンバー、マグネトロンスパッタリングチャンバー、キャリアターンチャンバーから構成されています。 インラインシステム内での基板の直線運動には、ホルダー付きの特注キャリアが使用される。キャリアの位置は、すべてのチャンバーで光学センサーによって登録されます。 デュアルチャンバーと双方向自律ローラーコンベアにより、キャリアのダイレクトフローとバックフローを確保。 ターンチャンバーは、ダイレクトフローパスからバックフローパスへのキャリア搬送に使用される。 前処理源としてグロー放電装置を使用。 コーティング成膜はDCプレーナースパッタマグネトロンにより行われる。 調整可能な斜めマグネトロン位置とプロセスチャンバー内の基板回転により、均一なコーティングを実現する。 ポンプステーションはターボ分子ポンプで構成されている。 制御システムは、キャリアの搬送と技術プロセス全体を完全に自動で監視・制御します。 インラインシステムは、プラスチック成形や基板ワニスのフローラインと互換性があります。 データシート 基板：プラスチック、金属、合金、ガラス3D部品 最大基板サイズ (直径 x 高さ): 145 x 210 mm コーティング: 金属、合金 出力4キャリア/分 連続運転時間120 h