熱式質量流量調節器 SideTrak® 840

ガス用ステンレススチール製アナログ

質量流量を直接モニターするため、圧力や温度のセンシングが不要。 特許取得のアクセス・ポート付きストレート・センサー・チューブはクリーニングが容易で、メンテナンスのダウンタイムを短縮します。 プラチナセンサーはゼロドリフトを排除し、長期的な再現性を保証します。 高速応答制御バルブにより、セットポイントの変更に素早く反応し、広い圧力差範囲で作動します。 一次標準校正により、始点精度とNISTトレーサビリティを保証 多様なエンクロージャー、プロセス接続、入力/出力オプション、制御電子機器をご用意 CE承認済み 説明 Sierra InstrumentsのSide-Trak® モデル830マスフローメータとモデル840マスフローコントローラは、0～10sccmから0～500slpmまでの空気とプロセスガスの精密測定と制御用に設計されています。接液部材質は全て316ステンレス鋼で、腐食性ガスを含むほとんどのクリーンガスに対応します。 Side-Trak製品ラインは、25年以上にわたる現場での設置により実証されており、特許取得済みの洗浄可能な大口径センサーチューブと、この機能によりもたらされる信頼性と保守性により、際立った存在となっています。微小な汚染層が小径センサーチューブに大きな影響を与えるため、多くのマスフローメーターやコントローラーは、時間の経過とともに精度や再現性の低下に悩まされます。 Side-Trakセンサーは他の多くのMFMやMFCよりも直径が大きいだけでなく、フローボディの側面に沿って取り付けられているため、両端にアクセスポートがあります。目詰まりや汚れが発生した場合は、Sierraから入手可能な直径0.03インチのクリーニングロッドで洗浄することができます。