熱式質量流量計 FlatTrak™ 780S-UHP

質量ガス用測定管内

バルク超高純度（UHP）ガスのカストディ移送に最適化 直接マスフロー測定 可動部品なし、100:1ターンダウン、低圧力損失 内蔵のフローコンディショニングにより、ストレートラン要件を低減 現場での校正が容易 概要 780Sは北米で売上No.1のインライン熱式マスフローメータです（2009年 Flow Research社、マサチューセッツ州ボストン）。当社の超高純度780S-UHPは、半導体工場、製薬製造、その他の超クリーンプロセスにおけるバルクガス供給サービス用として業界で選ばれています。ガス使用量をリアルタイムで監視することにより、製造エリアにおける消費量と使用パターンに関する信頼性の高い情報を提供し、請求と診断の両方の目的で使用することができます。 製品の利点 半導体工場におけるバルクガス分配保管移送サービスの業界選択 超高純度内装仕上げ 超高純度クレンルーム基準で製造・出荷 Sierraの最先端ISO9000クローズドループ校正設備による最高の精度 内蔵フローコンディショニングエレメントにより、上流のストレートラン要件を大幅に削減 ブット溶接接続とVCRプローブ接続継手 動作性能を保証するフィールドバリデーション/設定 現場でのレンジアビリティ 流量積算計とアラーム 非常に低い圧力損失 可動部品なし 流量レンジの調整、検証、診断 デュアルレンジ機能 大型LCDディスプレイとプッシュボタンインターフェース、リモートエンクロージャー取付け可能 無料のコンピューター・インターフェース・ソフトウェア