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Z軸ポジショニングステージ リニアモータ駆動ボールベアリング産業用
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特徴
- 方向
- Z軸
- タイプ
- リニアモータ駆動
- その他の特徴
- 産業用, ボールベアリング
- 速度
1 m/s
(3.28 ft/s)- 繰返し精度
10 µm
詳細
垂直Zリニアモータステージによる特別プロジェクト
垂直Zリニアモータステージによるこのプロジェクトの製品情報
リニアモータステージ
ボールベアリングガイド付き3軸システム（1xXと2xZ）：
基本構造アルミニウム
ピークフォースX軸：800N、Z軸：480N
繰り返し精度測定システム: ± 1 μm
最大加速度: 80 m/s2
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