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空気軸受ポジショニングステージ リニアリニアモータ駆動単軸
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- リニアモータ駆動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 産業用, 空気軸受
- 速度
9 m/s
(29.53 ft/s)- 繰返し精度
5 µm
詳細
MPL エアベアリング付きリニアモータステージ
このエアベアリング付きリニアモータステージの情報
このリニア軸の能力
測定システムの繰り返し精度：± 1 μm
最大加速度：80 m/s2
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カタログ
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