スタックアクチュエータは、極薄の圧電セラミックウェーハをスタック状に接着したもので、高感度、高速応答、低ドライバ電圧での変位・力の駆動が可能で、サイクルレートと信頼性に優れています。
装置の正確な変位制御に広く使用されており、光学、半導体、航空、医療、遺伝子工学などの分野で広く使用されています。
圧電セラミック材料のパラメンター:圧電セラミック材料のパラメンター
1.D33≥810
2.D31≥-420
3.εT33/ε0 5000
4.使用温度:-20〜+60
5.保管温度: -30 から + 85 ℃への
---