位置決め軸の長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度を高精度に同時測定・校正するレーザー干渉計
- 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム
- 長距離での高精度長さ測定
- 長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度の6自由度測定が可能。
- 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易
- 測定リフレクターの大きな傾斜不変性
- ビーム距離50 mm
- 光学系の旋回により、水平および垂直方向の真直度成分を測定可能
- 豊富なトリガーオプション
- WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース
- 現在有効な規格に準拠した校正ソフトウェア
機械軸のガイド特性を高精度にダイナミックに取得することと、それに続く規格に準拠した校正は、非常に労力と時間のかかるプロセスであり、最終的に高い位置決め精度につながります。
SP 15000 C6 NG 校正レーザー干渉計は、三次元測定機や高精度工作機械メーカーの要求を満たすために特別に開発されました。同期・連続測定が可能で、オプションのロール角センサーを併用すれば6自由度測定も可能です。測定された長さ、ピッチ角、ヨー角、XYアライメントの真直度は、3つの長さ測定チャンネルすべてで同じ安定性の高いレーザー周波数を使用し、レーザー干渉法によって高精度に取得されます。
オプションのソフトウェアを使用することで、完全な機械受入または体積補正を行うことができます。
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