レーザー振動計 NA

高精度FFT非接触式

マイクロ構造および MEMS 用振動計システム - 微小物体の振動を非接触で高精度に計測 - 調整と取り扱いが容易 - 豊富なトリガオプション - X-Y テーブル 50 mm x 50 mm、その他のオプションはお問い合わせください。 - 顕微鏡対物レンズ 10倍、20倍、50倍 - スポット径 2 µm - 10 µm （対物レンズにより異なる） - 振動計ユニットの OEM 供給が可能 - Windows および Linux 向け OEM ソフトウェアのためのオープン インタフェース - スペクトル解析用 FFT ソフトウェア ナノ振動計 NA は、LSV 120 NG シリーズのファイバ結合型振動計とエンジニアリング顕微鏡を組み合わせたシステムです。このシステムは、マイクロ構造、MEMS、カンチレバーの動的挙動や静的たわみの測定に最適です。使用する対物レンズにもよりますが、測定スポット径は 2 µm 未満です。 測定対象物は、X-Yステージを使用して広い範囲で位置決めおよびスキャンすることができ、カメラを通して観察することができます。顕微鏡対物レンズは交換可能で、可視範囲とレーザースポット径の両方を定義します。レーザ干渉計の変位分解能はピコメータ級で、振動周波数は 5 MHz まで解析可能です。 測定データの取得と表示には、特別に開発されたソフトウェアが使用できます。このソフトウェアでは、振動の周波数解析やトリガによる測定記録のほか、X-Y テーブルや外部周波数発生器の制御も可能です。より広範な測定シーケンスは、スクリプトによって自動化できます。