OEM用途用干渉計 SP 5000 DI/F

サブナノメーター変位測定用測長用光学式

超安定小型差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - 差動測定による環境影響の最小化 - 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡の大きな傾斜不変性 - コンパクトで堅牢な設計 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：14 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションのインターフェースでフィードバックシステムとして使用可能 - 豊富なトリガーオプション 超安定でコンパクトなSP 5000 DI/Fディファレンシャル干渉計は、長期間にわたって非常に安定した長さ測定を実施する必要があるアプリケーション向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭いスペースでも長期間安定した調整と配置が可能で、精密測定システムは閉制御ループのレーザースケールとして理想的です。このアプリケーションでは、最適な測定値の安定性を達成するために、通常、測定範囲の中央に配置される外部基準点が必要です。干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズをベースにしているため、サブナノメートルの長さ分解能も実現しています。SPシリーズの反射鏡を使用すれば、数メートル以上の測定も容易に可能です。