3軸ナノ配置システム NMM-1

レーザー光学工業用

ナノメートル精度で物体と構造を位置決め、操作、加工、測定 - 世界で最も精密なナノ位置決めおよびナノ計測装置 - 測定および位置決め範囲 25 x 25 x 5 mm - 分解能0.1 nm - 最高精度の3次元位置決め測定システム - レーザーフォーカスセンサー、原子間力顕微鏡、白色光センサー、3Dマイクロスキャナーなどのプロービングシステム - オープンデバイスアーキテクチャーにより、カスタマイズされたセンサーの適用が可能 - NMM-1はPCソフトウェアで制御。ユーザーAPIが利用可能です。 三次元座標測定用のナノ位置決めおよびナノ測定機は、25 mm x 25 mm x 5 mmの測定範囲で動作し、分解能は0.1 nmです。特殊なセンサー配置により、3つの座標軸すべてにおいて収差のない測定が可能です。3つの小型干渉計の測定軸は、プロービングセンサーと測定物の接触点で実質的に交差します。 測定対象物は、可動ミラーコーナー上に直接置かれます。ミラーコーナーの位置は、3つの固定式小型干渉計によって検出される。ミラーコーナーは3軸駆動システムで位置決めされる。位置決め中の角度偏差を測定し補正するために、2つの角度センサーが使用される。 つの安定化レーザーからの光は、エレクトロニクスユニットから光ファイバーを介して干渉計ヘッドに伝送される。この結果、ナノ位置決め・ナノ計測装置はコンパクトで温度安定性に優れた設計となっている。