3軸ナノ配置システム NPP-1

レーザー光学工業用

AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲：表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御：3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - NPP-1はPCソフトウェアで制御されます。ユーザーAPIが利用可能です。 NPP-1ナノ計測・位置決めプラットフォームは、約100mmの範囲での位置決めを可能にします。制御に使用されるレーザー干渉計の高分解能、位置決めアノードルングの高剛性アーキテクチャ、位置決めシステムのエアベアリング軸、および最適化された制御システムにより、位置偏差とパスの忠実度は2 nm RMS未満です。 測定対象物は移動鏡の上に直接置かれます。ミラーの位置と回転は干渉計で検出されます。 このシステムにはSP-DI/Fシリーズの超安定干渉計が使用されている。安定化レーザーからの光は、光ファイバーを経由して電子ユニットから干渉計ヘッドに伝送される。この結果、NPP-1はコンパクトで温度安定性に優れた設計となっている。 最大5kgの可搬重量で、より大きく重い対象物でも高精度に位置決めすることができる。NPP-1ナノポジショニングシステムの原理はスケーラブルに設計されているため、ご要望に応じてシステムのカスタマイズが可能です。