回転リニアアクチュエータ LCR Series

ロータリー電動サーボ モーター

LCAシリーズリニアアクチュエータを基に開発されたリニアロータリ式電動アクチュエータです。直線軸、回転軸とも直動式のサーボモータ（ダイレクトドライブ）を採用し、回転モータにはブラシレスサーボモータを採用しています。ピックアップ、回転、プレースを一つのユニットで行える、Z軸とシータ軸を一体化させたアクチュエータです。 特長 • Z軸とシータ軸を一体化した小型ユニット • 回転モータはブラシレスサーボモータ採用 • 各軸、推力／トルク、位置、加速度の独立した制御が可能 • 真空接続用として先端に穴の開いたシャフトは回転軸用モータシャフトと一体化させ塵が詰まりにくい構造となっています • SMAC独自のソフトランド機能により、ワークの表面に軟着陸して、ワークの破損を防ぎます