XY軸ポジショニングステージ LXY series

電動2軸精密

コギング無し、ネジ送り機構のないダイレクトドライブ方式の電動XYステージです。ストローク15mmと25mmの機種で展開。エンコーダ分解能5ミクロン標準装備、0.1μmまでオプション対応。高精度の位置決めや高速でのスキャニングに最適です。100％データ集計＆フィードバック機能搭載。寸法計測、品質検査などの用途にも使用されています。