回転ポジショニングステージ SR-12012

閉ループ-翻訳中-開ループ

このステージは、大口径で最高の精度が絶対不可欠な用途に選ばれることが多い。 フットプリント120 x 120 mmのSR-12012回転ステージは、高さわずか12 mmの薄型を維持しながら、82 mmの開口部を提供します。 メカニカル トラベル ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 15 最大法線力 [N] - 20 寸法 [mm] - 120 x 120 x 12 重量 [g] - 320 開口 [mm] - 82 オープンループ 角速度 [°/s] - > 5 開ループ分解能 (H)CU [µ - < 25 オープンループ分解能 MCS2 [μ - 5 オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）； 性能オプション - 高いブロッキングトルク 真空オプション - HV (1E-6 mbar)