多軸ナノ配置システム SMARPOD 70.42

6脚パラレル キネマティクス付高真空

小型サイズのSMARPOD 70.42は、ベースプレート直径わずか70mm、重量わずか200gの最もコンパクトなシステムです。 SMARPOD 70.42は、ベースプレートの直径がわずか70mmという最小の六脚型モーションシステムです。その全体的なコンパクトさにもかかわらず、最大5 Nの可搬重量をXとYに11 mmの移動範囲で位置決めできる、堅牢で精密なシステムです。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット・ポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズの違いにより大きくなる場合があります。詳細については、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。