多軸ナノ配置システム SMARPOD 225.75
6脚リニア回転式

多軸ナノ配置システム
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特徴

軸の数
多軸
構造
6脚, リニア, 回転式
その他の特徴
パラレル キネマティクス付, 高真空
繰返し精度

50 nm

ストローク

24 mm, 42 mm
(0.94 in, 1.65 in)

詳細

SMARPOD 225.75のベースプレート直径は225 mmで、XおよびY方向に42 mmの移動が可能です。 SMARPOD225.75は、最大5 Nの可搬重量を扱うことができます。SmarAct SMARPODの中では大型の部類に入り、移動範囲はX方向とY方向に42 mm、Z方向に24 mmです。オプションとして、ベースプレートには、SMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを配置するための取り付けポストを装備できます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。