多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLC-17
6脚リニア回転式

多軸ナノ配置システム
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特徴

軸の数
多軸
構造
6脚, リニア, 回転式
その他の特徴
パラレル キネマティクス付, 高真空
繰返し精度

50 nm

ストローク

10 mm, 30 mm, 50 mm
(0.39 in, 1.18 in, 1.97 in)

詳細

この中型SMARPODは、SLC-17ステージをベースとした平行オリエンテーションで、X方向に50mmのトラベルを提供します。 SMARPOD P-SLC-17は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-17はX方向に50mmと非常に大きな移動量を提供します。 回転トラベルの値は、トッププレートの表面にピボットポイントがある場合の値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。