多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLC-24
6脚リニア回転式

多軸ナノ配置システム
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特徴

軸の数
多軸
構造
6脚, リニア, 回転式
その他の特徴
コンパクト
繰返し精度

50 nm

ストローク

17 mm, 62 mm, 102 mm
(0.67 in, 2.44 in, 4.02 in)

詳細

大型のSMARPODは、X方向に102mmの大きな移動量を提供する平行配向のSLC-24ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができ、円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-24はX方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。

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カタログ

SMARPOD P-SLC-24
SMARPOD P-SLC-24
2 ページ
SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。