多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLL

6脚リニア回転式

大型のSMARPODは、X方向に330mmという非常に大きな移動範囲を提供するCLLシリーズの3つのキャリッジを使用しています。 SMARPOD P-CLLは、Y方向の移動にSLCポジショナを使用し、X方向にはCLLステージを使用します。この異なるリニアステージの特殊な組み合わせにより、P-CLLはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向に最大1200mmという非常に大きな移動範囲を必要に応じて提供します。 回転移動量の値は、トッププレート表面でのピボットポイントに対して与えられています。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。