コンパクトポジショニングステージ SL-0620

リニア真空対応小型

SLシリーズのリニアステージは、スペースに制約がある場合や極端な小型化が求められる場合に対応するために設計された超小型のステージです。小型でありながら、比較的長い移動範囲を持ち、組み合わせて複雑な多軸システムを構築することができます。SLシリーズのステージは、幅11mm、高さ5.2mmです。 メカニカル ブロッキングフォース [N]≧ 1.6 最大法線方向の力 [N]1 最大リフト力 [N]0.35 寸法 [mm]21 x 11 x 5.2 オープンループ 分解能 [nm]<1