SLC-1750の移動範囲は31mm、法線力は30Nで、寸法は50 x 17 x 8.5mmです。
このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。
メカニカル
スキャン範囲 [μm] - > 1.3
ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5
最大法線力 [N] - 30
最大持ち上げ力 [N] - > 1.5リフト力 [N] - > 1.5
寸法 [mm] - 50 x 17 x 8.5
重量 [g] - 32
オープンループ
開ループ分解能 MCS2 [nm] - < 1
開ループ分解能 (H)CU [nm] - < 50
オプション
材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK
機械的オプション - より高い機械的強度のためのU字型ベース(-W)幅を23mmに拡大、寿命延長(-Z)
性能オプション - より高いブロック力(-D):+1.5 N
極低温オプション - あり(オープンループのみ)
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