リニアポジショニングステージ SLC-24180
圧電単軸高精度

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
軸の数
単軸
その他の特徴
高精度, コンパクト, 真空対応, 閉ループ, 非磁性, ロングレース用
ストローク

123 mm
(4.843 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

SLC-24180」は、「SLC-24」シリーズの中で最長の移動量となる123mmを実現しています。サイズは180×24×10.5mmで、法線方向の力は30Nとなっています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-24180の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社の営業チームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース [N]≧ 3.5 最大法線力 [N]30 最大リフト力 [N]1.5 寸法 [mm]180 x 24 x 10.5 重量[g]216 オープンループ 分解能 [nm]<1 オプション 材質オプション アルミベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK メカニカルオプション 剛性を高めるU字型ベース(-W)で幅が30mmに拡大 性能オプション ブロッキングフォースの向上(-D)。+1.5 N クライオジェニックオプション

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。