コンパクト変位センサ C01

角度調整可能リニア非接触式

標準のPICOSCALE C01センサーヘッドには、ビームスプリッターの1つのポートが干渉計用として使用されていません。通常、ビームスプリッターのこの部分は粗く研磨されており、アライメント用のビューポートとして使用できます（回路図参照）。このビューポートを以下ではSmarAlignウィンドウと呼びます。 ピコスケールのパイロットレーザービームを作動させると、可視光を使ってターゲットミラーまでの伝搬経路をトレースし、センサーヘッドに反射させることができます。反射ビームがセンサーヘッドに当たると、SmarAlignウィンドウに2つのスポットが表示されます。センサーヘッドの先端/傾斜角度を微調整することで、この2つのスポットが重なり、2つのビームが干渉することができる。