高負荷ポジショニングステージ SHL-1D80N-1

縦型多軸精密

ナノメートルの精度で1mmの移動範囲で80Nを持ち上げることができる高荷重垂直ステージ。 SHLシリーズのリニアステージは、特に高荷重を扱うように設計されています。機械的設計は、ステージ動作の最高分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線移動が保証され、直接位置フィードバックと閉ループ動作のための位置センサーの統合が可能です。コンポーネントや機器を持ち上げるための純粋な垂直動作を目的としたステージには、積載量をさらに高い値までオフセットするための追加定力スプリングを装備することができます。 を追加することができます。したがって、数ミリメートルにわたって最大10キログラムを持ち上げることができるナノエンコードステージや、3次元すべてで高い阻止力を提供するSHLシリーズのリニアステージをベースにした多軸システムも可能です。 高可搬質量を提供しながらも、SlarAct SHLステージは非常にコンパクトで、スペースに制約のあるセットアップにも適しています。 メカニカル 自由度 - 1 最大リフト力 [N] - 80 寸法 [mm] - 41 x 86 x 50 重量 [g] - 340 クローズド・ループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 単一方向繰り返し精度 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ(H)CU [nm] - ± 200 (S,L) オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、黒アルマイト（-BK） 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)