回転ポジショニングステージ SR-3211

圧電高精度-翻訳中-

SR-3211回転ステージは、CLS-32シリーズのリニアピエゾステージに簡単に取り付けられるように設計されています。 超高真空対応や完全非磁性バージョンなど、さまざまなオプションもご用意しています。 メカニカル トラベル トラベル[- ∞] - ≥ 2 ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 2 最大法線力 [N] - 3 寸法 [mm] - 32 x 32 x 11 重量 [g] - 35 アパーチャー [mm] - -- オープンループ 角速度 [°/s]～15 開ループ分解能 [μ]< 4 閉ループ 角速度 [°/s]～15 開ループ分解能(H)CU [μ - < 200 開ループ分解能 MCS2 [μ - < 4 オプション 材質オプション - アルミニウム（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI 性能オプション - 高いブロッキングトルク 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプション - あり（-NM）