回転ポジショニングステージ SR-9219

閉ループ-翻訳中-開ループ

SR-9219回転ステージは、他のスマーアクト製品シリーズとの互換性を考慮して設計されており、CLS-92およびMLS-92シリーズのリニアステージに簡単に取り付けることができます。 メカニカル トラベル ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 10 最大法線力 [N] - 25 寸法 [mm] - 92 x 92 x 19 重量 [g] - 450 開口 [mm] - 27 オープンループ 角速度 [°/s] - 15 開ループ分解能 (H)CU [µ - < 50 開ループ分解能 MCS2 [μ - < 1 クローズドループ センサータイプ - L, S センサ分解能 [μ - 15 角速度 [°/s] - 15 オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）； 性能オプション - 高い遮断トルク 真空オプション - HV (1E-6 mbar)