回転ポジショニングステージ SR-9219C

-翻訳中-真空対応閉ループ

SR-9219Cステージは、超高真空に完全対応するセラミックベアリングを搭載。 また、非磁性材を使用したバージョンもご用意しています。外形寸法と取り付け穴パターンにより、この回転ステージはCLS-92およびMLS-92シリーズのリニアステージに直接取り付けることができます。 メカニカル トラベル ブロッキングトルク [Ncm] - ≥ 10 最大法線力 [N] - 25 寸法 [mm] - 92 x 92 x 19 重量 [g] - 250 開口 [mm] - 30 オープンループ 角速度 [°/s] - 15 開ループ分解能 (H)CU [µ - < 50 開ループ分解能 MCS2 [μ - < 1 クローズドループ センサータイプ - S センサー分解能 [μ - 15 角速度 [°/s] - 15 オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）； 性能オプション - 高い遮断トルク 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) 非磁性オプション - あり（-NM）