リニアポジショニングステージ CLS-3232
圧電-翻訳中-真空対応

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
その他の特徴
-翻訳中-, 真空対応, 閉ループ, 産業用, 非磁性
ストローク

21 mm
(0.827 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

CLS-32リニアステージの最小モデルで、フットプリントはわずか32×32mm、移動範囲は21mmです。最大30Nの可搬重量に対応しています。 CLSシリーズのリニアステージは、科学や産業における高稼働率のアプリケーションのために一貫して設計されています。ステージの中核部品であるピエゾドライブへのアクセスを容易にするSmarActs交換可能ドライブユニットを搭載しています。これにより、サービスが非常に簡単になります。ドライブユニットの交換は、デバイス全体を周囲のポジショニングセットアップから取り外すことなく行うことができます。さらに、その取り付け穴パターンは、当社の回転ステージやゴニオメーターの取り付けに完全に適合しています。 メカニカル ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5 最大法線方向の力 [N] 30 最大揚力 [N] > 1.5 寸法 [mm] 32 x 32 x 11 重量 [g] - 33 オープンループ 分解能 [nm] - < 1

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カタログ

CLS-3232
CLS-3232
1 ページ
Catalog 22
Catalog 22
182 ページ
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。