リニアポジショニングステージ MLS-92122

電磁駆動閉ループダイレクトドライブ

65mmの可動範囲を持つ大型の高性能電磁式ダイレクトドライブです。 MLS-92122は、CLS-92モジュールシステムに対応した大型の電磁式ダイレクトドライブです。CLS-92のリニア、ローテーション、ゴニオメータステージと簡単に組み合わせることができます。ステージは信頼性の高いMCS2コントローラシリーズで駆動することができます。 メカニカル 連続力 [N] - 7.5 ピーク荷重 [N] - 22.0 最大値通常時の力 [N] 50 移動質量 [g] 400 重量 [g] - 640 寸法 [mm] 122 X 92 X 17 (LxWxH) クローズド・ループ 最大加速度加速度（無負荷） [m/s²] - 45 位置決め時の安定性 [nm] - 3 クローズドループの繰り返し精度、フルストロークMCS2 [nm] - ± 50（一方向）、± 200（双方向）