リニアポジショニングステージ DLS-3232

圧電精密コンパクト

スマーアクトのハイブリッド駆動技術を応用した小型リニアステージで、CLS-32モジュールシステムに完全対応しています。 DLS-3232は、CLS-32リニアステージ、等価回転ステージ、すべての接続エレメントとアダプタープレートを含むスマーアクトのモジュラーシステムと完全に互換性があります。DLSステージには2つのドライブコンセプトが含まれていますが、MCS2コントローラの1チャンネルのみを使用します。これにより、スマーアクトの新しいハイブリッド駆動技術を搭載したステージを追加することで、既存の位置決めシステムの機能を簡単に拡張することができます。 メカニカル スキャンレンジ [μm] >10 ブロッキングフォース [N] >3.5 Max.ノーマルフォース [N] 5.0 Max.リフト力 [N] >1.5 重量 [g] - 40 寸法 [mm] 32 x 32 x 13.1 (L x W x H) 共振周波数（無負荷） [Hz] >700 クローズド・ループ クローズド・ループ分解能 MCS2 [nm] - 1 (S) スキャンカットオフ周波数 [Hz] - > 25