三脚配置システム TRIPOD 52-6DoF
6 軸XYZ軸リニア

三脚配置システム
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特徴

軸の数
XYZ軸, 6 軸
構造
リニア, 回転式, 三脚
応用
真空
繰返し精度

50 nm

ストローク

6 mm, 31 mm
(0.24 in, 1.22 in)

詳細

TRIPOD 52-6DoFモーションシステムは6自由度を持ち、SMARSLIDE高精度ピエゾポジショナーを使用しています。 TRIPOD 52-6DoFの中心的なコンポーネントは、TRIPOD 52-Coreパラレルキネマティックティルトステージです。3つのタワーが放射状に配置されたデザインにより、トッププレートのロールおよびピッチモーションが可能で、Rx方向に20°、Rx方向に19°、Z方向に6mmの直線移動ができます。TRIPOD52-Coreの上部にはSR-3211回転ステージがあり、Z軸を中心とした無制限の回転が可能です。TRIPOD 52-CoreはCLS-52モジュラーシステムと完全に互換性があり、2台のCLS-52直線移動ステージから構成されるXYプラットフォーム上に設置されます。底板は、25mmグリッドの標準光学ブレッドボードに直接取り付けることができます。回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット点での値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 ページ
Catalog 22
Catalog 22
182 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。