三脚配置システム TRIPOD 92-6DoF
6 軸XYZ軸リニア

三脚配置システム - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 軸 / XYZ軸 / リニア
三脚配置システム - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 軸 / XYZ軸 / リニア
三脚配置システム - TRIPOD 92-6DoF - SmarAct GmbH - 6 軸 / XYZ軸 / リニア - 画像 - 2
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特徴

軸の数
XYZ軸, 6 軸
構造
リニア, 回転式, 三脚
応用
真空
繰返し精度

50 nm

ストローク

6 mm, 31 mm
(0.24 in, 1.22 in)

詳細

大きい方のTRIPOD 92-6DoFモーションシステムは6自由度を持ち、SMARSLIDE高精度ピエゾステージを使用し、CLS-92モジュラーシステムとも完全な互換性があります。 TRIPOD 92-6DoFの中心的なコンポーネントはTRIPOD 92-Coreパラレルキネマティックティルトステージです。3つのタワーが放射状に配置された設計により、Rx方向に31°、Ry方向に27°、Z方向に11mmの直線移動が可能です。TRIPOD 92-Coreの上部にはSR-5714C回転ステージがあり、Z軸を中心に無制限に回転することができます。TRIPOD 92-CoreはCLS-92モジュラーシステムと完全な互換性があり、2台のCLS-92直線移動ステージから構成されるXYプラットフォーム上に設置されます。底板は、25mmグリッドの標準光学ブレッドボードに直接取り付けることができます。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボットポイントに対して与えられています。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。

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カタログ

Catalog 22
Catalog 22
182 ページ
CATALOG 2024
CATALOG 2024
188 ページ
SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。