XYZ軸配置システム

レーザーコンパクト

XYZポジショニングシステムは、センサーヘッドを保持し、レーザービームをサンプル上にスキャンします。 XYZポジショニングシステムは、干渉計のプローブビームの位置を決め、関心領域上でスキャンするために使用されます。位置決めシステムは、コンパクトな保護筐体に収められた3台のSmarActクローズドループポジショナーを中心に構成されています。各ポジショナーの最大スキャン範囲は20mm、繰り返し精度は50nmです。センサーヘッドは、一番下のポジショナーに取り付けられています。XYZポジショナーは、直径25mmのポストに取り付けられており、異なる寸法のサンプルに対応するために高さを簡単に調整できます。また、ポジショニングシステムをポストから取り外し、カスタムセットアップや他の機器と組み合わせて使用することも可能です。