高負荷ポジショニングステージ CHS-3232-1D-5

縦型閉ループコンパクト

交換可能なドライブユニットを備えた非常にコンパクトな高荷重ステージで、垂直移動範囲は5 mm、最大5 Nの可搬重量を扱えます。 CHS-3232-1D-5は、スマーアクトで最もコンパクトな高荷重ステージです。取り付け穴パターンにより、CLS32シリーズのリニアステージやSR-3211回転ステージに直接取り付けることができます。サービス時には、位置決めセットアップ中に、交換可能なドライブユニットをステージから取り外すことができます。交換可能なドライブユニットは、ステージの側面から簡単にアクセスできます。負荷方向に沿ったまっすぐな移動は、独立したガイドウェイによって保証されます。位置センサーの統合により、ダイレクトフィードバックとクローズドループオペレーションを提供します。作動式ウェッジを採用した機械設計により、高分解能が保証されます。CHS-3232-1D-5は、科学や産業における高可用性アプリケーションに適しています。ステージは5Nの可搬重量に対応するため、追加の定荷重スプリングを装備することができます。 メカニカル 自由度 - 1 最大リフト力 [N] - 5 寸法 [mm] - 32 x 32 x 32 重量 [g] - 100 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 単一方向繰り返し精度 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ(H)CU [nm] - ± 200 (S,L) オプション 材質オプション - 標準アルミニウム、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、黒アルマイト（-BK） 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)