高負荷ポジショニングステージ CHS-5237-1D-10

縦型圧電閉ループ

交換可能なドライブユニットを装備した高荷重ステージは、10mmの垂直移動量を提供し、最大10Nの可搬重量を扱うことができます。 この高荷重ステージは、科学および産業における高可用性アプリケーションに適しています。スマーアクトの交換可能なドライブユニットを搭載しており、点検の際にピエゾドライブ全体をステージから取り外すことができます。ドライブユニットにはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンス時に装置を位置決めセットアップから取り外す必要はありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証され、直接位置フィードバックとクローズドループ動作のための位置センサーの統合が可能です。CLS52シリーズやSR-5014のリニアステージに簡単にネジ止めできる取付穴パターンを備えています。オプションで、最大10Nまでの荷重に対応する定荷重スプリングを追加することができます。 メカニカル 最大リフト力 [N] - 10 寸法 [mm] - 52 x 52 x 37 重量 [g] - 270 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L) 単一方向繰り返し精度 MCS2 [nm] - ± 40 (S,L) センサー分解能 (H)CU [nm] - 100 (L) 一方向リピータビリティ(H)CU [nm] - ± 200 (S,L) オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、ブラックアルマイト（-BK 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)