閉ループポジショニングステージ SLC-2460-F

リニア高精度真空対応

SLC-2460-Fは、スマーアクトのクローズドループ・クライオジェニック・ステージの中で、2番目に大きな位置決めステージです。35mmの移動範囲を持ち、特に長距離の位置決め作業に適しています。低温量子技術のアプリケーション用に特別に設計されているため、極低温条件下で比類のないクローズドループ位置決め性能を発揮します。 メカニカル スキャンレンジ [μm] - ~ 1 @ 4 K; 5 @ 300 K ブロッキングフォース [N] - ≥ 2 最大ノーマルフォース [N] - 30 マックス。リフトフォース [N] - ≥ 1 寸法 [mm] - 60 x 28 x 14 重量 [g] - 110 分解能 [nm] - < 0.5 クローズドループの繰り返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - ± 25 クローズドループ・リピータビリティ、1 mm トラベル MCS2 [nm] - 5