リニアナノ位置決めステージ SOM-808030
縦型3軸閉ループ

リニアナノ位置決めステージ
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特徴

方向
リニア, 縦型
軸の数
3軸
その他の特徴
閉ループ, -翻訳中-, 真空対応, 顕微鏡, 開ループ
ストローク

19 mm, 51 mm
(0.748 in, 2.008 in)

速度

8 mm/s

繰返し精度

80 nm, 160 nm, 1,000 nm

詳細

SOM-808030は、スマーアクトの顕微鏡ステージの中で唯一、垂直方向の移動が可能なステージです。X軸とY軸の移動範囲は51mm、Z軸は16mmです。ステージの寸法は、縦横138mm、高さ56mmです。SOM-808030は、スマーアクトのSLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高のクローズドループ・リピータビリティとナノメートルの分解能を実現しています。 一般的なメーカーとの互換性は、標準的な挿入物用のアダプターによって確保されています。顕微鏡ステージのベースプレートはブレイブボードに対応しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 寸法 [mm] - 138x138x56 重量 [g] - 700 オープンループ オープンループ分解能 [nm] - <1

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。