変位測定用干渉計 PICOSCALE V2

レーザー光学式高精度

高精度非接触変位計測 高精度な変位計測のために、スマーアクトは干渉計PICOSCALEを提供します。 - 1台で3つの平行レーザー干渉計を使用した3D測定が可能 - 測定帯域幅は最大2.5 MHz（サンプルレート10 MHz）、分解能は最大1 pm1 - ほとんどの材料で測定が可能（プラスチック、ガラス、金属、水まで） - 用途や環境（真空や極低温を含む）に応じて、幅広いセンサヘッドを用意 - オプションのモジュールを使用することで、完全なラボ用測定・制御機器に拡張可能 - 何百人ものお客様にご満足いただいている実績 1 周波数領域で周期的変位を解析する場合 応用例 ピエゾスキャナーの高分解能光学変位測定 サンプルの正確な位置決めは、様々なアプリケーションで最も重要な関心事です。スティック・スリップ・ピエゾテクノロジーを用いた位置決めシステムは多様な可能性を秘めていますが、アプリケーションによってはスリップの挙動が好ましくない場合があります。このような場合、ピエゾスキャナーは、その性能をフルに発揮します。 数マイクロメートルの範囲で非常に正確に試料を位置決めすることができるため、その可能性は計り知れません。このアプリケーションノートでは、ピエゾスキャナーのステップを検証しています。光学式エンコーダをセンサとして使用した閉ループ動作において、PICOSCALE干渉計を採用し、シングルナノメートルのステップを明らかにしました。 DeepL並進の真直度測定 DeepL並進の真直度測定は、PICOSCALE干渉計の代表的なアプリケーションの一つです。