レーザー振動計 PICOSCALE

走査非接触式光学

PICOSCALE 振動計は、数 µm から数 cm までのマイクロメカニカル構造体の振動を測定するためのターンキーソリューションです。PICOSCALEは、MEMS、センサ、小型スピーカ、ベアリング、アクチュエータなどの振動計測を可能にします。この装置には顕微鏡が内蔵されており、最大100万画素の測定が可能なため、振動モードを高い空間的・時間的分解能で可視化するのに適しています。 > 光による非接触測定 > 走査型レーザー干渉計による面外（レーザー光の進行方向）の動きの計測 > 最大2.5 MHzの測定帯域（10 MHzのサンプルレート）、1 pm以下の分解能を実現 > 赤外共焦点顕微鏡を内蔵し、光学解像度は2 µmまで向上 > カプセル化されたMEMSのモーダル解析 > 面内運動（レーザービームの方向に垂直な運動）のストロボイメージング > シェーカーステージを備えたターンキー装置 物体を動かすと、高次の曲げモードが複雑な振動パターンを引き起こすことがあります。これは、センサーやアクチュエーターの設計において非常に重要な現象です。このようなデバイスの完全なモーダル解析を行うには、PICOSCALE振動計の測定レーザーをサンプル上でスキャンし、各ピクセルで振動を測定します。記録されたデータから、振動イメージが再構築されます。 スマーアクトでは、最大3点で振動や運動を測定する非走査型の振動計も提供しています。これは、モーション システムのダイナミクスを3Dで追跡するだけでなく、機械内のノイズ源を特定するための理想的なソリューションです。