干渉計 F03

顕微鏡用の集光ビームを持つセンサーヘッドには、実際の干渉計が搭載されており、光ファイバでコントローラと接続されています。 F03センサーヘッドにはマイケルソン干渉計が搭載されており、様々な対物レンズと組み合わせることで、測定用レーザービームをマイクロメートルサイズのスポットに集光することができます。これにより、微小なターゲットの周期的な変位をピコメートルの分解能で測定することができます。また、PICOSCALEの振動計と組み合わせることで、高解像度の共焦点顕微鏡にも使用できます。