光学プローブ SP series

実験用電気特徴付け

4台または8台のクローズドループ・マニピュレーターを備えた標準的なナノプローバーシステム。 SMARPROBE SP4は最大4つのマニピュレーターを搭載したプロービングシステムで、SMARPROBE SP8は最大8つのマニピュレーターを搭載しています。各マニピュレーターは3つの自由度を持ち、高精度の電気式プロービングのためにナノメートル分解能の光学エンコーダーを搭載しています。専用の制御ソフトウェアに実装されたスマートな位置決めルーチンと、最大4つのSEMサンプルスタブをロードできる機能により、操作性とナノプロービングタスク全体のスループットが向上します。堅牢な機械設計により、高い安定性と操作性を実現しています。SMARPROBEプロービングシステムは、さまざまなFIB、SEM、光学顕微鏡に対応しているため、既存のプロービングシステムの後付けや、新しい装置への組み込みに最適です。SMARPROBEプロービングシステムは、2接点のEBIC/EBACから4点または6点のプロービング測定まで、電気的な特性評価技術を可能にし、故障解析ラボに欠かせないツールとなっています。 プローブ取り付け可能なマニピュレーター - XYZクローズドループ式 マニピュレーターの数 - 4台以下 / 8台以下 サンプルステージ - XYZクローズドループ コントロール - ポイント＆クリック, ジョイスティック プロービングエリア [mm] - 25 x 25 XYZのスキャンレンジ1 [μm] - 3 サーマルドリフト2 [nm/min] - 1 - 10