光学プローブ SP LX series

低ドリフトでスキャンレンジを広げた究極のモーションシステム。 SMARPROBE LXは、ナノメートル分解能のクローズドループプロービングを次のレベルに引き上げるために開発されました。温度ドリフトや振動によるナノプロービング作業への影響を最小限に抑えるために、SMARPROBE LXはアクティブな温度制御と、すべての自由度に対して拡張されたスキャンレンジを備えています。このシステムは標準のSMARPROBEと同じ堅牢な設計で、Advanced Probe Holderと完全に互換性があります。 L-Extensionは、複数のセンサーによるクローズドループの温度制御です。このオプションをSMARPROBEシステムに追加することで、熱ドリフトの極めて低い値を実現できます。 X-Extensionは、マニピュレーターに範囲を拡張したスキャナーを追加します。スマーアクトのピエゾポジショナーは、スティック・スリップ・ドライブ技術を採用しており、ナノメートルの分解能と長い移動範囲を兼ね備えています。非常に要求の厳しいプロービング実験では、スティック・スリップ時の微小な振動が測定に悪影響を及ぼすことがあります。この問題を解決するために、デフォルトのCLS-3232ドライブを、13μm以上のスキャンレンジを持つDLS-3232ハイブリッドドライブに交換することができます。これは、スティック・スリップ現象が発生することなく、すべての自由度でプローブを13 µm移動できることを意味しています。