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リニアナノ位置決めステージ
PLF3232-x.60
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SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×12mmと非常にコンパクトです。
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