リニアナノ位置決めステージ PLF5252-x.200

圧電単軸コンパクト

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF5252-x.200は、X方向で200μm以上のスキャン範囲を実現しています。また、重量は90gと非常に軽く、52×52×15mmと非常にコンパクトです。