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自動ナノ配置システム 高速
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特徴
- 構造
- 自動
- その他の特徴
- 高速
詳細
卓越した性能
1nm分解能のフルエンコード
アクティブな位置保持
広いスキャンレンジと低サマルドリフト
30 x 30 mmの大面積プロービングが可能
EBAC/EBICの高速イメージング
効率的で簡単
オールインワンのユーザーインターフェース
すべてのプローブの自動ランディングとアライメント
SEM画像内の "ポイント＆クリック "ナビゲーション
グループ移動と "ステップ＆リピート"
試料とプローブのCADナビゲーション
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