内蔵型エンコーダー付きナノ位置決めステージ METIRIO Readhead

METIRIO® リードヘッド リードヘッドは、METIRIO® エンコーダの核となる部分です。すべての光学部品と電気部品は、非常に小さなフットプリントのフリップチップパッケージ内に組み込まれています。